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SAW类产品包括普通的SAW滤波器以及具有温度补偿特性的TC-SAW滤波器，产品形式包括双工器以及单独的滤波器。制作的原材料主要为钽酸锂或铌酸锂的单晶晶圆（4寸晶圆为主），在晶圆上方应用光刻，镀膜等半导体工艺进行图形化处理，然后划切成为芯片，芯片表面结构和制作工艺较为简单，成本较低。BAW滤波器基本原理同SAW滤波器相同，不同的是BAW滤波器中声波垂直传播。同时电极的使用与薄膜压电层的厚度决定滤波器谐振频率，高频下薄膜压电层厚度在几微米量级，因此需要使用较高难度的薄膜沉积与微机械加工技术，制造难度与成本更高。滤波器微信公众号认为，BAW滤波器有FBAR类型以及SMR类型，两者结构略有差别。BAW滤波器可以直接在硅晶圆（6寸为主）加工设计，利用PVD或CVD设备实现压电薄膜的制备是其关键工艺环节，薄膜材料主要为氮化铝和氧化锌。除了用作滤波器以外，SAW在其他方面也有十分重要的应用。湖南声表面谐振器pcx

声表面波传感器的两种基本构型为延迟线型(delayline)和谐振型(resonator)，图1所示为延迟线型和谐振型的传感器结构类别。延迟线型和谐振型声表面波传感器在结构上均由压电基片、叉指换能器和发射栅共同构成。延迟线型声表面波传感器通过天线接收正弦激励信号，传递至叉指换能器(interdigitaltransducer，IDT)，正弦信号在压电基片激励出声表面波，实现声波和电信号的转换。声表面波在压电基片上传播经过一段时间延迟到达反射栅，反射栅将部分声波反射回来，反射的声波又通过IDT转换为正弦激励信号，从而实现电声转换。谐振型声表面波传感器将IDT置于2个全反射的反射栅间。激励的声表面波的频率与谐振器频率相等时，声表面波在反射栅间形成驻波，反射栅反射的能量达到比较大。外部激励信号加载在输入IDT上，IDT将电信号转换为声表面波，声表面波沿压电晶体表面向两边传播，经两侧反射栅反射叠加由输出IDT输出，终实现声／电转换。珠海出口声表面谐振器生产企业当压电基材选定之后，声表面谐振器的工作频率则由IDT电极条宽决定。

射频前端模块是无线通信的关键，滤波器作为射频前端的关键器件，可将带外干扰和噪声滤除以保留特定频段内的信号，满足射频系统的通讯要求。本文总结了声表面波滤波器工作原理及其传统封装技术，提出了一种圆片级互连封装技术，采用曝光显影、电镀及印刷等工艺实现了芯片焊盘上铜金属层和焊球的形成，避免了芯片关键功能区IDT的损伤。对封装前后电性及上基板可靠性测试，结果表明该封装方案满足声表面波滤波器封装需要。本技术在声表面波滤波器封装方面有广阔的应用前景，适用于批量生产。

声表面波滤波器是射频前端中的重要芯片，而射频前端是实现信号无线连接的关键模块。移动终端类产品的无线通讯系统主要由天线、射频前端模块、射频收发模块、基带信号处理器等四部分组成。射频前端能够实现不同频率的信号在天线和射频收发模块之间发射和接收。射频前端包括射频开关（Switch）、低噪声放大器（LNA,LowNoiseAmplifier）、功率放大器（***owerAmplifier）、滤波器（Filter）和双工器（Duplexer）等芯片

般4G手机需要支持约20-30个频段，如Band5、Band34、Band39、Band40、Band41等，每个频段一般需要1个发射通道和2个接收通道。发射通道路径为“基带芯片-射频收发模块-开关-功率放大器（PA）-滤波器/双工器-开关-天线-信号”，接收通道路径为“信号-天线-开关-滤波器/双工器-低噪声放大器（LNA）-开关-射频收发模块-基带芯片。 在传播过程中的声表面波易于被采样分析和处理，所以SAW可以模拟电子器件的各种功能。

来自Yole的预测数据表明，滤波器在射频前端器件市场中，逐渐成长为占比比较大，增速较快的业务。射频前端市场中，滤波器的价值占比超过50%，2017-2023年复合增速约为19%，超过整体需求14%的平均增速。据Navian报告显示，21年比较大声表双工器出货将达到108亿颗，其中国产占比比较大为3.6%，且基本均为为分立式CSP。而声表滤波器单接收SAW市场因单价较低，技术门槛相对不高且失效后对终端用户体验影响不大等原因，已显现红海市场的销价竞争现象。拓展声表面谐振器的带宽通常从优化设计IDT的电极结构入手。广东质量声表面谐振器询问报价

声表面波谐振器(surface- acoustic- wave)，SAW 声表面波元件主要作用原理是利用压电材料的压电特性。湖南声表面谐振器pcx

声表面波传感器在复杂多变环境中的应用

长期以来，传统的温度传感器存在许多无法克服的缺陷，不能满足实际多变的测量需求。浙江大学的课题组以YZ 切铌酸锂（ LiNbO3 ） ，128°YX 切LiNbO3，ST 切石英和YX 切石英4 种不同压电敏感材料为基底，设计和制作了单端口谐振型声表面波温度传感器。研究结果表明： LiNbO3 声表面波温度传感器较石英传感器具有较大的频率温度系数; 在0 — 80 ℃ 范围内，YZ 切LiNbO3，128°YX切LiNbO3 和YX 切石英较ST 切石英的温度传感器具有线性的温度频率特性; 石英声表面波温度传感器较LiNbO3 传感器具有较大的品质因数和较强的回波信号;在相同的测试条件下，当无线传输距离小于10 cm 时，YZ切LiNbO3 温度传感器的测量精度较高; 当距离超过10 cm后，YX 切石英传感器具有较高的测量精度。该研究结果对于单端口谐振型声表面波温度传感器的设计和制作具有普遍的意义，为制备在复杂多变环境中的声表面波传感器提供了重要的指导作用。 湖南声表面谐振器pcx

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